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高度産業科学技術研究所

光科学技術を中心とした先端的かつ独創的な研究を推進し、 新しい産業科学技術基盤の創出を図る

本研究所には、2つの大講座で5つの専門分野および3研究開発センター(極端紫外線リソグラフィ、ナノインプリント、LIGAプロセス)が設置されています。
研究所の主要な研究設備は、1.5GeVの電子蓄積リングをもつニュースバル放射光施設です。これをSPring-8サイトに設置・運営し、2000年より放射光利用研究を行っています。理研、JASRIとも連携をしています。

各研究分野は大学院工学研究科および物質理学研究科の協力講座となっており、大学院学生の教育・研究の場として、多数の卒業研究生、大学院生を受け入れています。

放射光は軟X線から真空紫外領域の光を利用することができ、これを用いて放射光源の研究開発、次世代半導体製造技術である極端紫外線リソグラフィ、新材料創製、放射光材料分析、LIGAによるナノ・マイクロシステム開発などの研究を、産業展開に向けた世界最先端の研究・開発を産学官の連携により進めています。また、学内では、工学研究科や放射光ナノテクセンター等とも連携をはかり研究を進めています。

平成27年度より、工学研究科材料・放射光工学専攻科が設置され、大学院生の教育・研究の場として、多くの大学院生を受け入れ、教育・研究をしています。

所長 渡邊 健夫

高度産業科学技術研究所

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