高度産業科学技術研究所

大学が所有する放射光施設では国内最大の「ニュースバル」を所有し運営及び管理を行っています。特に得意とするのは、軟X線領域の放射光を用いた基礎研究と産業界との共同研究開発です。内容としては、先端半導体用リソグラフィ技術の開発、材料開発、次世代電池技術に関する放射光化学分析、微細加工技術を用いた医療用デバイスや化学実験用システムなどの開発を行っています。教育面では工学研究科材料・放射光工学専攻に所属しています。卒業研究や大学院では、最先端の研究テーマを行っており、学会発表や産業界との共同研究で学生が活躍しています。多くの卒業生が社会に出てから、ここでの経験を基に企業や大学などで活躍しています。

研究部門紹介

光・量子科学技術大講座

光やビーム関連科学の研究開発を進めるとともに、新しいナノ科学の創出を進めています。

機能性マテリアル物性分野

先端機能材料の物性・構造評価研究や、放射光を用いた解析技術の開発、X線微細加工技術など、ナノテクノロジーを担う各領域の研究開発を大学所有の放射光施設ニュースバルを利用して行い、産学連携を通した地域社会貢献と教育・人材育成を行っています。

ビーム物理学分野

国内大学で最大となる放射光施設「ニュースバル」の電子蓄積リング及び直線型加速器を運用しています。これらの巨大装置の安定運用を通して放射光の産業利用に貢献するほか、加速器科学・ビーム物理学に関する研究やビームラインBL01でのガンマ線光源開発とその利用、AIや機械学習を適用した加速器制御の高度化などを行っています。

ナノ構造科学分野

グラフェンなどの二次元材料や水中のナノバブル等のナノ構造に発現する特有な科学やその応用を研究しています。また、SPring-8の兵庫県ビームラインにおいてマツダ(株)技術研究所との共同研究を推進しています。

光応用・先端技術大講座

放射光利用によるナノテクノロジーを駆使したマイクロデバイス研究や計測技術の研究開発を進め、産業業界の支援を行っています。

放射光ナノ工学分野

スマートフォンなどで利用される処理速度が速く、消費電力の小さな先端半導体は、現在はX線領域の光(波長13.5nm 極端紫外線EUV)で加工されています。本分野ではニュースバル放射光施設からのEUVを利用して、半導体微細加工に必要なEUV光学素子やEUVフォトレジスト材料を評価しています。学生は、新しい評価装置の開発や産業界との共同研究を通じて、半導体プロセスや放射光技術を学んでいます。最先端で利用される材料開発に本気で取り組む企業との共同研究の経験を基に、卒業生は半導体分野で活躍しています。

放射光マイクロスコピー分野

本年度4月に新設の研究分野です。ニュースバルビームラインに設置されている光電子顕微鏡装置をはじめとして、X線顕微分光・イメージングおよびそのオペランド解析のための分析装置を整備し、電池、触媒、表面防食や半導体デバイスなど産業分野の利用研究を推進するとともに、基礎研究や放射光分野の人材育成の充実化も目指します。